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El HY-SW360 se utiliza para montar obleas de semiconductores compuestos sobre placas cerámicas antes de su adelgazamiento. Incorpora una dosificación precisa y cuantitativa de cera sólida, prensado independiente mediante cilindro neumático y control exacto de la temperatura, logrando una TTV ≤0,005 mm tras el montaje. Compuesto por subsistemas de control mecánicos, neumáticos-hidráulicos y eléctricos, proporciona un montaje de cera estable y de alta precisión para procesos de adelgazamiento de obleas.
Marca :
HYRNUSNúmero de artículo :
HY-SW360Pedido (cantidad mínima de pedido) :
1 SetGarantía :
One-Year Warranty and Lifetime MaintenancePago :
T/TPlazo de entrega :
7-35 DaysOrigen del producto :
ChinaMáquina semiautomática de montaje en cera para la unión de circuitos integrados y obleas semiconductoras de silicio compuesto.
Introducción del producto
HY-SW360 Máquina semiautomática de montaje de ceraRealiza la unión de obleas a soportes cerámicos como proceso previo para el adelgazamiento de obleas por una sola cara.
Adopta un diseño de fusión de cera sólida con dosificación precisa de cantidad fija de ±0,02 g, junto con compresión independiente mediante cilindro neumático y plataformas duales de calentamiento y enfriamiento con regulación precisa de temperatura en circuito cerrado. La planitud de montaje final alcanza un TTV ≤ 5 μm. Diseñada para obleas de 4 y 6 pulgadas, la unidad adopta un control centralizado PLC y consta de subsistemas de control mecánicos, neumáticos-hidráulicos y eléctricos integrados, lo que permite un funcionamiento estable a largo plazo y un montaje de cera de alta precisión y uniforme para el rectificado posterior de las obleas.
Ventajas del producto
1.Adopta un método de fusión de cera sólida para una dosificación precisa y cuantitativa de la misma.
2.El plato calefactor y refrigerante está equipado con un sistema de calentamiento de precisión y un sistema de enfriamiento automático para controlar con exactitud la temperatura de la superficie del plato.
3.Adopta un sistema de prensado de cilindros independiente con control preciso de la presión del aire, lo que permite un control exacto del espesor de la capa de cera.
4.TTV después del montaje ≤ 0,005 mm.
Campos de aplicación
Este equipo se utiliza principalmente para montar obleas de materiales como GaN, GaAs, zafiro y SiC sobre la superficie de soportes cerámicos antes del adelgazamiento por una sola cara.
Sistemas clave del equipo
| Categoría del sistema | Componente | Especificación / Marca |
| Estructura mecánica | Chapa de metal | Tubo cuadrado estándar nacional de 60×60×5 mm + marco exterior con pintura horneada de grado industrial |
| Regiones | Acero 45# con tratamiento superficial de cromo duro / Acero inoxidable 304 / AL6061 con tratamiento superficial de anodizado | |
| Mecanismo neumático de retención de presión | Fabricado internamente | |
| Mecanismo de la etapa de calentamiento | Fabricado internamente | |
| Mecanismo de transferencia | Fabricado internamente | |
| Guía lineal | THK / HIWIN / TBI | |
| Sistema de control eléctrico | SOCIEDAD ANÓNIMA | Panasonic / Mitsubishi / Delta |
| Pantalla táctil | Weinview / Weintek / Advantech | |
| Protección de energía | Disyuntor de fuga (Mingwei / Schneider) | |
| Fuente de alimentación de CC | Fuente de alimentación conmutada (Mingwei / Schneider) | |
| Sistema neumático | Cilindro neumático | SMC / CKD / FESTO |
| Control de presión | SMC / CKD / FESTO | |
| Regulación de la presión | SMC / CKD / FESTO | |
| Indicación de presión | SMC / CKD / FESTO | |
| Válvula solenoide | SMC / CKD / FESTO |
Parámetro técnico
| Nombre del parámetro | Especificación |
| Modelo | HY-SW360 |
| Tamaño de oblea aplicable | 4 pulgadas / 6 pulgadas |
| Carrera del robot de succión | 450 mm |
| Cantidad de ejes del robot de succión | Eje único (diseño de 3 ejes reservado) |
| Precisión de reposicionamiento del robot de succión | ±0,05 mm |
| Rango de presión de vacío del robot de succión | -70 ~ -90 kPa |
| Dimensiones del soporte cerámico | Φ360 × 15 mm |
| Vida útil del servicio de cera sólida | 350 obleas por barra de cera |
| Rango de control de temperatura del dispensador de cera | 40℃ ~ 130℃ |
| Temperatura de funcionamiento del dispensador de cera | 100℃ |
| Precisión en la dispensación de cera | ±0,02 g |
| Precisión en el reposicionamiento del dispensador de cera | ±0,05 mm |
| Tiempo de calentamiento de la placa calefactora | 3 minutos |
| Tiempo de enfriamiento de la placa calefactora | 3 minutos |
| Rango de control de temperatura de la placa calefactora | 60℃ ~ 130℃ |
| Control de temperatura de la placa calefactora de precisión | ±0,5℃ |
| Carga del cilindro de la prensa | 100 ~ 1000 kg a 0,6 MPa ±1% FS |
| Uniformidad de la capa de cera | TTV ≤ 5 μm |
| Suministro general de aire | 0,4–0,7 MPa (en seco y sin aceite) |
| Sistema de control principal | SOCIEDAD ANÓNIMA |
| Consumo total de energía | Aprox. 7 kW |
| Peso total de la máquina | Aprox. 1000 kg |
| Dimensiones generales (largo × ancho × alto, mm) | 1550×1550×1900 (sin incluir la altura de la luz indicadora tricolor) |
Requisitos de las instalaciones del sitio
| Categoría | Artículo | Especificación |
| Instalaciones del sitio (equipos auxiliares) | Fuente de alimentación | Voltaje de la máquina: CA 220 V ± 10 %, Corriente: 20 A, Potencia: 1,2 kW |
| Requisitos ambientales | Temperatura del taller: 15°C-25°C, Humedad relativa: ≤80% | |
| Suministro de aire | 0,4~0,6 MPa, Caudal >20 L/min, Diámetro de la tubería: Φ12 mm | |
| Suministro de agua de refrigeración | Temperatura del agua de entrada: 3~22°C, Caudal de agua circulante: 15~30 L/min, Presión de suministro de agua circulante: 0,2 MPa |
Detalles del producto
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