Máquina compacta de limpieza por plasma al vacío con potencia ajustable de 0 a 300 W para I+D de laboratorio.

Introducción del producto

HY-ES10 es un Máquina de limpieza por plasma al vacío compacta con potencia ajustable de 0 a 300 W. Diseñado para universidades, institutos de investigación, laboratorios de I+D corporativos y aplicaciones de prototipado de lotes pequeños. Gracias a la tecnología de generación de plasma acoplado capacitivamente (CCP), madura y fiable, la unidad presenta un diseño integrado todo en uno que consta de una cámara de reacción al vacío, un generador de plasma, una unidad de bombeo de vacío, un circuito de gas de precisión multicanal y un sistema de control PLC inteligente.

Mediante tecnología de plasma a baja temperatura, la máquina realiza diversos procesos, como limpieza de superficies, activación, micrograbado, unión de obleas y eliminación de fotorresina. Mejora significativamente la adhesión de la superficie del material y modifica sus propiedades hidrofílicas o hidrofóbicas, funcionando como equipo de preprocesamiento universal para procesos de unión de materiales, recubrimiento y deposición de películas sobre sustratos.

Aplicación del producto

Características del producto

1. Cámara de vacío de acero inoxidable con proceso de soldadura de grado militar, que ofrece una excelente estanqueidad y una extraordinaria resistencia a la corrosión.

2. Equipado con 2 electrodos integrados y bandejas de procesamiento multicapa para maximizar el aprovechamiento del espacio.

3. Interfaz hombre-máquina (HMI) intuitiva con pantalla táctil para un funcionamiento sencillo, que muestra los parámetros del proceso en tiempo real.

4. Permite almacenar múltiples recetas de procesos para su recuperación con un solo clic, lo que posibilita la trazabilidad completa de los datos.

5. Se han configurado dos canales de gas independientes para facilitar la investigación sobre cómo las diferentes proporciones de gas afectan a los resultados de la limpieza.

6. El sistema de distribución de gas por convección genera una circulación dinámica de gas durante el funcionamiento, con una entrada de aire uniforme para ofrecer un rendimiento de limpieza superior.

Dibujo esquemático de la máquina y diagrama de la cámara de vacío

 

 

Especificaciones técnicas

 

No.	Categoría	Nombre del artículo	Parámetros
1	Generador de plasma	Fuerza	0–300W, ajustable de forma continua
		Frecuencia	40 kHz
2	Cámara de reacción al vacío	Material de la cámara	Acero inoxidable 316 importado con sellado de grado militar.
		Volumen de la cámara	10,8 L
		Dimensiones de la cámara	200 (ancho) × 270 (profundidad) × 200 (alto) mm
		Área de procesamiento efectiva de una sola capa	176 (ancho) × 210 (profundidad) mm
		Cantidad de electrodos	2 electrodos dedicados de aleación de aluminio chapados en oro
		Capas de procesamiento	3 capas
		Espacio entre niveles de una sola capa	H: 35 mm
3	Sistema de control de gas	Controlador de flujo de gas	500 SCCM
		Cantidad de canales de gas	2 canales independientes, compatibles con O₂, Ar, N₂, H₂, etc.
			(Avísanos con antelación si necesitas gas corrosivo)
4	Medición de vacío	Sistema de medición de vacío	Rango de medición: 5×10⁻² ~ 1,0×10⁵ Pa
			Precisión de medición: 0,1 Pa
5	Sistema de bombeo	Bomba de vacío	Velocidad de bombeo: 16 m³/h
		Tubería de vacío	Tubería de acero inoxidable + válvulas neumáticas
6	Sistema de control	Pantalla táctil	7 pulgadas
		Modo de control	SOCIEDAD ANÓNIMA
		Monitoreo en tiempo real	Potencia, duración de funcionamiento
		Programa de software	Sistema de control de plasma patentado de desarrollo propio, modo automático/manual, monitorización de E/S.
		Función de alarma	Protección contra el mal funcionamiento del sistema de vacío
		Función de equilibrio de presión	Admite entrada de gas de proceso con tiempo de preequilibrio ajustable.
7	Requisitos de servicios públicos	Fuente de alimentación	220V 50/60Hz 9A
		Interfaz de tubería de gas	Diámetro: 6 mm
		Pureza del gas	99,99%
		Presión de gas	0,4–0,6 MPa
		Puerto de escape	KF25

 

Entorno operativo (elementos que debe preparar el cliente)

 

No.	Categoría	Requisitos
1	Fuente de alimentación	Alimentación eléctrica: 220 V, 50/60 Hz, fluctuación de tensión ±10 %; el cable de tierra debe cumplir las normas internacionales; no debe haber fuertes interferencias electromagnéticas en las inmediaciones del lugar de instalación.
2	Condiciones de instalación	Temperatura ambiente: 0–40°C; Humedad relativa ambiente: 15%–60%.
3	Suministro de gas	Cilindros de gas para O₂, Ar, N₂, H₂ etc. (debe estar equipado con regulador de presión); presión de entrada ＞0,3 MPa; tamaño del conector de tubería de gas: Φ6 mm.
4	Tubo de escape	Conectar al puerto de escape de la bomba de vacío (obligatorio si está instalada en habitaciones limpias/libres de polvo).