Máquina de limpieza por plasma al vacío de laboratorio de 25 L con pantalla táctil PLC de 7 pulgadas

Introducción del producto

El NE-PE25H Máquina de limpieza por plasma al vacío Es ideal para laboratorios de investigación universitarios, centros de I+D empresariales y fabricación de lotes pequeños. Equipada con una cámara de vacío cuadrada de acero inoxidable con soldadura de grado militar, electrodos de doble capa integrados, dos canales de gas independientes y una estructura de apertura frontal con circulación de escape trasera, la máquina logra una entrada de gas uniforme y una excelente resistencia a la corrosión. Su pantalla táctil intuitiva permite la monitorización de parámetros en tiempo real, el almacenamiento de recetas de proceso para múltiples grupos con trazabilidad completa de datos y elimina la necesidad de un mezclador de gas adicional para pruebas con diversas proporciones de gas.

Este sistema de plasma mejora notablemente la adhesión y la hidrofilicidad del sustrato, proporcionando un tratamiento estable y repetible para procesos clave como la limpieza de contaminación orgánica, la modificación hidrofílica/hidrofóbica de superficies, el micrograbado de precisión, la unión de chips microfluídicos de PDMS y el tratamiento térmico de fotorresistencias. Se utiliza ampliamente en la unión de materiales, el recubrimiento, la deposición de películas sobre sustratos y todo tipo de proyectos de investigación de nuevos materiales semiconductores.

Aplicación del producto

Características del producto

1. Cámara de vacío de acero inoxidable procesada con soldadura de grado militar, que ofrece un sellado superior y una excelente resistencia a la corrosión.

2. Incorpora dos capas de electrodos y bandejas de procesamiento multicapa para mejorar considerablemente la utilización del espacio.

3. Interfaz de pantalla táctil fácil de usar que muestra los parámetros del proceso en tiempo real.

4. Permite almacenar múltiples recetas de procesos para su recuperación con un solo clic, con datos de operación totalmente rastreables.

5. Equipado con dos canales de gas independientes; no requiere mezclador de gas adicional, lo que resulta práctico para probar diversas formulaciones de proporciones de gas.

6. El diseño con puerta de apertura frontal y salida de escape trasera crea una circulación interna dinámica de gases. La entrada de aire uniforme proporciona resultados de limpieza consistentes.

Dibujo esquemático de la máquina y diagrama de la cámara de vacío

 

 

Especificaciones técnicas

 

No.	Categoría	Elemento de especificación	Parámetro
1	Generador de plasma	Fuerza	0–1000W, ajustable de forma continua
		Frecuencia	40 kHz
2	Cámara de reacción al vacío	Material de la cámara	Acero inoxidable 316 importado con acabado espejo y sellado de grado militar.
		Volumen de la cámara	380(Ancho)×390(Profundidad)×170(Alto) mm; 25 L
		Espacio de procesamiento efectivo	333 (ancho) × 320 (profundidad) mm
3	Electrodos de descarga	Electrodos	3 piezas de electrodos de aleación de aluminio de alta conductividad especial
		Capas de procesamiento	2 capas
		Modo de descarga	Descarga de reacción de plasma acoplado capacitivamente CCP
		Espacio entre electrodos positivos y negativos	50 mm
		Vaciado de bandejas	30 mm
4	Control de la trayectoria del gas	Controlador de flujo másico	300 SCCM
		Diseño de circuitos de gas	Diseño de entrada de aire uniforme de doble cara para obtener resultados de limpieza y grabado consistentes.
		Canales de gas	2 líneas de gas, compatibles con O₂, Ar, N₂, H₂, etc.
			(Avísanos con antelación si necesitas gas corrosivo)
5	Medición de vacío	Sistema de medición de vacío	Rango de medición: 5×10⁻² ~ 1,0×10⁵ Pa
			Precisión de medición: 0,1 Pa
6	Sistema de bombeo	Bomba de vacío	16 m³/h
		Tubería de vacío	Tubería de acero inoxidable + válvulas neumáticas
7	Sistema de control	Modo de control	SOCIEDAD ANÓNIMA
		Pantalla táctil	Panel táctil de 7 pulgadas
		Programa de software	Sistema de control de plasma patentado y de desarrollo propio.
8	Condiciones del sitio	Fuente de alimentación	220 V, 50/60 Hz, 13 A
		Conector de tubería de gas	Φ6 mm
		Pureza de gas requerida	99,99%
		Presión de entrada del gas	0,3–0,6 MPa
		Puerto de escape	Brida KF25
9	Especificaciones generales de la máquina	Dimensiones generales	650 mm (largo) × 649 mm (ancho) × 666 mm (alto)
		Peso neto	80 kg
		Consumo total de energía	3 kW

 

Entorno operativo (elementos que debe preparar el cliente)

 

No.	Artículo	Requisitos
1	Suministro eléctrico y estado de la red	Entrada: 220 V, 50/60 Hz; fluctuación de red admisible ±10 %. El cable de tierra de protección debe cumplir con las normas internacionales. No debe haber interferencias electromagnéticas intensas cerca del área de instalación del equipo.
2	Condiciones ambientales de instalación	Temperatura ambiente: 0–40°C; Humedad relativa: 15%–60%.
3	Preparación de la fuente de gas	Cilindros de gas de oxígeno, argón, nitrógeno, hidrógeno, etc. (deben estar equipados con válvulas reductoras de presión). Presión de entrada del gas > 0,3 MPa; Diámetro de la conexión de gas: Φ6 mm.
4	Conducto de escape	Conectar al puerto de escape de la bomba de vacío (obligatorio para aplicaciones en salas blancas).